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电阻率(Ω.cm)
直径(mm)
厚度(μm)
电阻率均匀性
总厚度变化(μm)
主参考面取向
平整度(μm)
主参考面宽度(mm)
局部平整度(μm)
次参考面位置
弯曲度(μm)
次参考面宽度(mm)
翘曲度(μm)
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